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    NEXIV VMR-K3040ZC

    NEXIV VMR-K3040ZC

    產品詳情
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    產品名稱:NEXIV VMR-K3040ZC
    產品類別:日本尼康精密光學測量
    產品說明:

    CNC視頻圖象坐標測量儀
    NEXIV VMR-K3040ZC

    這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標測量儀,它能夠在同一視場內,同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測最先進的IC封裝的立體形狀。

    1、2、3 型

    利用共聚焦光路,實現大視場、高速、高精度的微觀高度測量;

    在同一視場內,能夠同時完成二維平面和一維高度的高精度測量;

    同時擁有普通機型的15倍高速CNC變焦光學系統,可以進行明暗場圖象的二維幾何測量;

    8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置;

    通過對硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的指定,可以按圖定位測量其中的任意一個芯片;

    具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能。

    應用領域:
    硅片級芯片封裝(二維+高度)、MEMS、Probe Card等。

     

    明場

     

    共聚焦

     

    合成效果


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